SRM 2000 高分辨率X射線衍射用校準標準品(美國NIST)
產品貨號:SRM 2000
英文名稱:Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction
中文名稱:高分辨率X射線衍射用校準標準品
規(guī)格:1 block
危險等級:非危險品
產品用途:
該標準參考材料 (SRM) 為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區(qū)提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射 d 間距、表面到晶體平面晶圓誤切和表面到硅 (004) 布拉格角反射對于我們的參考波長。 SRM 2000 的一個單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 (100) 導向的單晶硅樣品組成,標稱值為 50 nm Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm Si 帽。 這些認證值可用于校準 HRXRD 儀器。
儲存及操作說明:
外延層可能受損或晶片機械應變;因此,應避免接觸 SRM 的前表面。 要去除表面污染,請使用過濾后的氮氣。
峰分布:測得的衍射峰明顯不對稱。 支持性測量表明,這種不對稱可能不完quan是由于儀器效應,而部分是由于 SRM 2000 原料的特性。 因此,使用分離 Pearson VII 曲線來擬合和估計峰位置,并推薦用于確定校準峰位置。 由于不對稱性對輪廓位置確定的影響不同,使用另一個輪廓函數(shù)可能會導致系統(tǒng)偏差。
有效期:SRM 2000 的認證在指ding的不確定性范圍內無限期有效,前提是 SRM 按照本證書中給出的說明進行處理和儲存(參見“處理、儲存和使用說明")。 因此,不需要定期重新校準或重新認證此 SRM。 如果 SRM 損壞、污染或以其他方式修改,則認證將失效。
本公司保證全程采用美國NIST要求的運輸條件進行產品運輸。
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